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中科院推出RFG系列射频电源与自动匹配器

龙8娱乐国际官方网站网址www.long8223.com 发表日期: 2013-01-30  文章来源: 178软文网 www.178news.com  我要投搞
中国科学院微电子所射频电源(RF Generator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源,获得“ 六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)项目资金支持下,研发晶体管射频电源(13.56MHz),2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源,获得第七届国际发明展览会银奖。
经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全, 目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前射频电源组,实行组长负责制,下设三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部
产品研发部:实行部长负责制,有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。
产品生产部:实行部长负责制,有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESDEMC等测试),年生产能力达3000台套,库房常年备有库存,可保证给客户随时发货。
产品推广与售后服务部:实行部长负责制,有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%
射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,射频感应加热,医疗领域的消毒与理疗美容,常压等离子体消毒清洗等领域。
中国科学院微电子研究所射频电源组网址:www.rf-power.net
关键词:射频电源,匹配器,等离子体,自动匹配器,手动匹配器,固态射频电源